石英陶瓷坩堝,是以高純熔融石英為原料做成的陶瓷質坩堝。一般情況下,其形狀主要有方形和圓筒形。全稱為高純熔融石英陶瓷坩堝。
其中,方形的高純石英坩堝用在多晶硅鑄錠環(huán)節(jié),充當多晶硅化料和長晶的容器;圓形的高純石英坩堝則用在單晶硅中拉單晶的環(huán)節(jié)。
高純熔融石英由于具有結構精細、熱導率低、熱膨脹系數小、制成品尺寸精度高、高溫不變形、熱震穩(wěn)定性好、電性能好、耐化學侵蝕性好等特點,
因此在玻璃深加工行業(yè)、冶金工業(yè)、電子工業(yè)、化工工業(yè)、航空航天等領域得到廣泛應用。