1、裝料擠壓。裝料過(guò)程中,硅料之間特別注意需要留有一定空隙,一般以2cm以上,一旦裝料過(guò)擠,可能引發(fā)溢流產(chǎn)生。這是因?yàn)楣枇先刍瘡闹猩喜块_(kāi)始,一旦裝料過(guò)于擁擠,液體硅流到坩堝底部以后可能會(huì)因溫度過(guò)冷而凝固,如果沒(méi)有空間供其膨脹,會(huì)對(duì)坩堝壁產(chǎn)生擠壓作用,導(dǎo)致石英坩堝破裂溢流。
2、坩堝隱裂。用來(lái)盛放硅錠的坩堝為石英陶瓷材料,其制作方式有注漿成型和注凝成型兩種方式,但不論哪種方式制作的坩堝,都會(huì)存在隱裂,氣孔等缺陷,這些石英坩堝在出廠以前一般都會(huì)經(jīng)歷兩道以上的采用顯影液透光檢查過(guò)程,但仍可能會(huì)有漏檢的坩堝,另外坩堝在運(yùn)輸過(guò)程中或搬運(yùn)過(guò)程中會(huì)遇到震動(dòng)或磕碰,如果這些缺陷在裝料前沒(méi)有檢測(cè)到,很有可能在熔化過(guò)程中出現(xiàn)硅液溢流現(xiàn)象。